一、管式PECVD与平板式PECVD机器镀膜的区别在哪里？
前者是在管子里，片子在石墨舟里作为电极镀膜，可以叫做直接式，后者则在石墨框上，不作为电极，可以叫做间接式。前者采用射频电源，后者则采用微波辉光。另外还有很多不同之处。
二、太阳能制造制绒 扩散 PECVD 丝网印刷 那个最安全？
没有什么是最安全的，只要没出事都安全，制绒有酸，扩散有磷源，PE有特气，丝印有浆料，不过丝印的味道不太好。希望能帮到你。
三、太阳能电池片Pecvd石墨舟会对折射率造成影响么
光在均匀的介质里面折射率是一样的，如博膜的质量不好，致密性不一，折射率就有所偏差，膜厚又和设备的定期维护离不开，间接的都会照成影响。
四、请教，太阳能电池厂工作(pecvd)对身体有伤害吗?谢谢了。
好像有点啊，尽量换了吧
五、管式PECVD异常停舟故障
可能跟管内压强，温度分布不均有关系，也有可能清洗舟，舟表面的那个膜不均，压强可能原因大点
六、管式pecvd，8英寸硅片镀膜工艺问题
应该是药液残留造成的
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