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pecvd石墨舟中电极片的作用是什么?

admin2024-06-27人已围观

一、pecvd石墨舟中电极片的作用是什么?

作为电源的正负极,从而产生电场,将气体电离成等离子体,从而形成新的膜层。

二、光伏的减反射膜(AR coating)有什么用?

减反射膜的作用是增加更多的光吸收,可以增大光电流。

同时,减反射膜对硅片还有保护和钝化作用,可以增加电生电压,对提高光伏电池的电性能有很大帮助。

现在的光伏电池均有减反射膜 ,不论是一线厂家或者二线厂家,普遍采用的是PECVD法沉积氮化硅膜。膜厚在78nm左右,折射率在2.06左右。

三、PECVD 中RF 作用是什么?

RF,提供射频电压,在腔体内形成交变电场。在交变电场的作用下特气辉光放电会等离子态。对了,也并非全部等离子态,里面有很多形态,比如亚稳态离子、活性游离基、原子、等离子等等。里面相当于东北乱炖什么都有,呵呵。简单说就是RF提供等离子态能量。

四、光伏逆变器中fpga有什么作用

FPGA强大的功能主要是逻辑控制能力非常强,可以用来产生SPWM信号,用SPWM信号驱动后级的DC-AC桥电路,经过低通滤波器后即可得到正弦波电压,同时FPGA可以采样输出的频率和相位差,进行频率和相位跟踪,希望能给你帮助

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